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Chapter032 光刻机 至极变态的条件（第1页）

送走李强，布一楠开始查看最近的各项工程进度。

水厂建好后，就要开始修建纯水系统来观测新星爆炸，将确实的证据摆在人类面前。

之前布一楠思考很久，还是决定要修建这个，因为这系统还有另外一个作用就是为未来研究中微子核裂变，是研究能源矩阵的基础研究。

翻看资料，反渗透膜的技术已经被基地中一名材料学专家转化为了工业技术，可实现量产了。

就是仪器设备这块还需要在打磨一下。

布一楠看了设计图之后又将这份设计做了些许修改和调整。

现在国家可真的没有太多钱了，自己的任何一项研究都需要海量资金。

虽然邓玉峰从来没说，不过她又不是傻的。

外附机械骨骼这件事就能看出来，国家在努力挣钱呢。

要不要再丢出一点东西，换钱？

悬浮车？

虚拟游戏？

磁悬浮技术拿出来了，估计产能够呛。

虚拟游戏需要脑机技术，级芯片制造出来之后才能实现。

这麻爪了。

布一楠暗嘲自己就不是个能大财的人，手里一堆王炸居然找不出一个能挣钱的东西。

算了，还是让别人操心去吧。

她只管把技术拿出来就行。

还是先搞完自己的芯片大业吧，这玩意一出，无人能敌。

之前说完了龟腚……硅锭到硅片的过程。

接下来就是将硅片光刻制成晶圆，这里就是整个芯片制造的另一个难点。

光刻就需要光刻机。

之前提到（第十章）euV极紫光源的存在。

根据瑞利定理，要制造纳米级芯片，光刻的光波就要更短更小。

euV是人类现阶段能实现的最短光13。5纳米。

这个光是利用4o千瓦激光驱动深紫外线光（duV）出的193纳米光打击液态金属锡来实现。

为了得到波长更短，强度足够的光，需用光脉冲击打液态金属锡（2o微米，从高空掉落的运动体）高频重复五万次每秒。

利用金属吸收反射的原理将光波变得更短，但是这种光的波长是短了，强度又不够，怎么办？

那就打击2次!

动次打次，动次打次~

光有了，就相当雕刻于有了刀。

光刻机还需要反射镜。

（反射镜原理不用讲吧，八年级物理，不会的都是九漏鱼~自己自去）

这种反射镜只反射13。5纳米的光，镜子直径3ocm，镜面要求非常平整。

平整到什么变态程度呢？

如果把这面镜子放大到地球那么大，这上面只允长一根头那么大的误差，大约o。o5纳米左右的凸起厚度。

（像我这种天生头丝细的人的头大约就是5o微米（1微米=1ooo纳米），我有个朋友她一根头顶我五根。(?e?｀）……羡慕死了……）

这样的反射镜每个镜子有4o层这种镜面！一台光刻机上有这样的镜子最少2o个！！

┴┴︵╰（‵□′）╯︵┴┴、

看到这里，有没有被逼疯？

这是目前宇宙中最光滑的人造结构了。

euV的光通过反射、拐弯、过滤杂光，调整形状之后，每次又都会损伤3o%的光强，最后到达硅片上的就只剩下2%。

所以得出结论，造光刻机好难。

芯片制造的模板叫做光掩模，这个就是遮光膜和高纯度石英玻璃基板合成光掩模底板，然后再经过绘图显影、蚀刻、去除光致抗蚀剂清洗后制造而成的。

（手搓芯这下可算会了，这不就是用光刻机通过光掩模在硅片上划拉两下的事吗？有手就行！当初看过一本小说中，主人公熬夜一个月愣是把o。2纳米光刻机给造出来了！我只想说：我的天哪！=????=????(●???●|||））

整个光刻机光刻时候有些像我们玩的光线游戏，通过调整镜子角度反射光线达到自己的目的。