“掩膜台系统正常。”
“离子注入系统正常。”
“硅片传输系统正常。”
一声又一声的汇报,代表着光刻机一个又一个的系统正常工作。
最后,只剩下euv光刻机最核心的部件——极紫外线光源。
光刻机能够加工几纳米的线条,靠的就是这些波长极短的光线!
而世界最先进的euv光刻机,使用的光源,是13。5纳米的极紫外线。
这种光源,全世界只有米国的cymer公司才能够生产,真正的独门绝技!
如果,今天的调试能够成功,那就意味着,这个极紫外光源,再也不是什么王冠的明珠,而是彻底白菜化了。
……
韩越轻轻在红色按钮按了一下。
金属锡滴液开始滴落,
用2o千瓦功率的二氧化碳激光开始轰击,
液态锡汽化为等离子体,经过几次反射,变得越来越刺眼,颜色越来越紫。
直到最后,一道深紫色的光,从白色的光刻机当中射出。
在整体覆盖在6oonm黄色光源的厂房中,格外耀眼。
光刻机厂房内,所有人都屏住呼吸。
静静地看着这道紫色的光源。
直到几分钟之后,才有人反应过来。
“成功了!”
“卧槽!牛逼!”
轰!
热烈的掌声和欢呼声,几乎将整个厂房的屋顶给掀开。
……
如果有人路过这废弃工厂的围墙,恐怕都会被吓一跳。
卧槽,这尼玛废弃了几十年的工厂,怎么人声鼎沸?
还在欢呼?
这是闹鬼了?
……
与此同时,山水庄园内。
赵瑞龙一手搂着一个美女。但表情却非常不耐烦。
“祁厅,你说的那个韩越,他什么时候过来?他怎么就这么牛逼呢?让我等这么久?”
祁同伟也是脸色阴沉。
“和他约好了时间,说是晚过来的啊。他么的,手机还关机了!”